供應(yīng)日本KOSAKA臺階儀ET200——上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟(jì)南/廣州

KOSAKA LAB ET 200

微細(xì)形狀測定機(jī)（探針接觸式臺階儀）

    株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的。

設(shè)備特點(diǎn)：

    KOSAKA ET 200 基于Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高表面形貌分析應(yīng)用。ET 200 能地量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

    ET 200 配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

規(guī)格

一、測定工件：

1. 工件尺寸：φ160mm

2. 工件厚度：50mm

3. 工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定范圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測定力：min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅(qū)動方式：直動式

6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：

1. 移動量(測長)：100mm

2. 移動的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z軸：

1. 移動量：50mm

2. 移動速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機(jī)能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件臺：

1. 工件臺尺寸：φ160mm

2. 機(jī)械手動傾斜： &plun; 1mm/150mm

六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它率CCD)

七、床臺：材質(zhì)為花崗巖石

八、振臺(選購)：落地型或桌上型

九、電源：AC100V&plun;10%,

50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D458×H610mm, 120kg

(?含震臺)

具體型號及技術(shù)要求歡迎來電咨詢。

聯(lián)系方式：

蘇州諾威特測控科技有限公司

Add：中國蘇州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)金楓南路198號

聯(lián)系人：夏先生 

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