測量行程：600mm×500mm (X×Y)
工件限高：300mm (Z)
示值系統(tǒng)：怡信Eon自產(chǎn)封閉式光柵尺
分辨率：1μm
示值：E = (4.0 + L/150)μm (L單位:mm)
重復：0.002 mm
玻璃面尺寸：648 mm×548 mm
載物臺尺寸：750 mm×650 mm
驅(qū)動系統(tǒng)：日本松下Panasonic交流伺服馬達及驅(qū)動器
傳動方式：臺灣上銀HIWIN研磨級絲桿
導軌型式：臺灣上銀HIWIN高雙滑塊導軌(Z軸)
操作方式：搖控手柄、鼠標拖運、程序檢測
影像系統(tǒng)：Eon高解析度CCD影像頭* 1/2”SONY CCD Sensor)及支DSP
影像擷取卡：怡信Eon自主設計影像測量儀卡
物鏡：Eon自主設計精密多段定倍遠心鏡頭，
光學倍率光學放大倍率0.7×-4.5×，（0.5X，1.5X，2.0X附加鏡片）
實際倍率：20-125×（配附加鏡片可10X-250X）
照明系統(tǒng)：U控制四路上光源，
直軸可調(diào)下光源
量測軟件：怡信Eon自主開發(fā)Eon 2D自動版光學視覺量測軟件
工作機臺：高花崗巖平臺
機臺承重：30kg
整機重量：1700 kg
整機尺寸：2500 mm×1350 mm×1850 mm
電源：AC 220&plun;5V、50Hz
使用環(huán)境：溫度 20&plun;3 ℃、濕度35%-65%
