性能特點(diǎn)l 用途1）WX40系列為新型FPD檢查顯微鏡，專為L(zhǎng)CD行業(yè)/TFT玻璃/COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查；2）WX40系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查； l 特點(diǎn)1）WX40系列，其微分干涉效果可與品牌；2）WX40系列機(jī)型采用設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源；3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察；技術(shù)參數(shù) （以下參數(shù)根據(jù)客戶實(shí)際需求配置）
| 配 置 | 參 數(shù) |
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
| 觀察方法 | 明場(chǎng) / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
| 觀 察 筒 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50：50 |
| 目 鏡 | PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡 |
| 轉(zhuǎn) 換 器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
| 物 鏡 | 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm | |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm | |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm | |
| 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 |
| 載 物 臺(tái) | 4寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程105X105mm，帶金屬平板平臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪6寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程158X158mm，玻璃工作臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪，帶離合器手柄，可快速移動(dòng)（選配）另可選配：8寸移動(dòng)平臺(tái) |
| 照明系統(tǒng) | 反射：帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；：?jiǎn)晤w大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌 |
| 偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
| V接口 | 1X、1/2X |
