電子制造工業(yè)中，對煙囪排放的氯化物、氟化物、苯系物等氣體監(jiān)測重要，OPSIS 擁有專為電子廠這種環(huán)境而設(shè)計(jì)的連續(xù)排放監(jiān)測系統(tǒng)。為了在許多應(yīng)用場所的性和運(yùn)轉(zhuǎn)性能，OPSIS可以滿足電子芯片制造業(yè)多樣化的需求。采用DOAS (差分吸收光譜法)的Opsis系統(tǒng)是一條開放式光徑，無須接觸被監(jiān)測氣體的監(jiān)測系統(tǒng)，就不會受廢氣排放過程中的氣體、高溫和微粒的影響。一套系統(tǒng)可以實(shí)時在線地監(jiān)測用戶指定的一系列物質(zhì)， OPSIS系統(tǒng)具有高準(zhǔn)確性、高性和很強(qiáng)的數(shù)據(jù)采集處理能力。OPSIS同樣可以滿足過程控制對響應(yīng)速度的要求。
一套OPSIS 系統(tǒng)可以監(jiān)測多種物質(zhì)。通常監(jiān)測的氣體，諸如為了合電子廠的某些需求，監(jiān)測HCL、HF、CL2、苯、、二、……
一套OPSIS 系統(tǒng)可以監(jiān)測多種物質(zhì)。通常監(jiān)測的氣體，諸如為了合電子廠的某些需求，監(jiān)測HCL、HF、CL2、苯、、二、……
應(yīng)用原理：差分吸收光譜法（DOAS）
系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：
技術(shù)特點(diǎn)：
- 無需抽取采樣，不改變工況條件，在線實(shí)時連續(xù)測量
- TüV，MCERTS 等國際
- 煙道光路上平均濃度，代表
- 多氣體，多光路技術(shù)（反應(yīng)時間快）
- 使用壽命長，維護(hù)量小，運(yùn)營成本低（耗件氙燈）
- 一年要校準(zhǔn) 1-2 次
- 技術(shù)成熟，應(yīng)用范圍廣
