STZ400H型半導(dǎo)體四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測量，可以從10^-4--10⁶Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。
儀器為臺(tái)式結(jié)構(gòu)，分為電氣箱、測試架兩大部分，用戶可以根據(jù)測試需要安放在一般工作臺(tái)或者專用工作臺(tái)上，測試架由探頭及壓力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、樣品架組成，耐磨和使用壽命長的特點(diǎn)。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置，壓力連續(xù)可調(diào)，測試架設(shè)有手動(dòng)和電動(dòng)兩種裝置供用戶選購。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成，測量結(jié)果由數(shù)字直接顯示，儀器有自校量程，可以方便地對(duì)儀器的電氣性能進(jìn)行校驗(yàn)。
儀器具有測量高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門、高等院校，對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試及工藝檢測。

主要技術(shù)指標(biāo)：

1測量范圍：10^-4---10⁶Ω -CM 分辨率 10^-6。

2數(shù)字電壓表量程和電流輸出檔位：

a、電壓表量程2 mV、20 mV、200 mV、2V

b、電流輸出檔位： 1uA,10uA,100uA,1mA,10mA,100mA,

3測試（顯示電壓）及穩(wěn)定度：

a、使用電壓量程20mV—2V及使用10uA—100mA電流輸出檔時(shí) ：

±(0.2%讀數(shù)+6字)  

b、使用電壓量程2mV檔及使用1uA電流輸出檔時(shí)：

±(0.5%讀數(shù)+8字)

c、顯示：4?位數(shù)字顯示0—19999及相應(yīng)單位顯示,測試電壓的分辨力為

   0.1uV。

4  電源：220±10%   50HZ或60HZ 功率消耗<50W

5外形尺寸：365mm*345mm*110mm