儀器型號(hào) |
YRVMS-3020CNC |
YRVMS-4030CNC |
YRVMS-5030CNC | |
工 |
金屬臺(tái)面尺寸(mm) |
506×356 |
606×466 |
700×450 |
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) |
350×280 |
450×350 |
550×350 | |
運(yùn)動(dòng)行程(mm) |
300×200 |
400×300 |
500×300 | |
儀器重量(kg) |
140 |
240 |
290 | |
外形尺寸 (mm) |
770×590×1100 |
950×700×1100 |
970×670×940 | |
鏡頭 |
日本SONY CCD | |||
X、Y、Z數(shù)顯解析度 |
1μm | |||
X、Y坐標(biāo)示值誤差 |
≤(3+L/200)μm | |||
鏡頭 |
日本SONY CCD | |||
電機(jī) |
伺服電機(jī):日本 | |||
三軸運(yùn)動(dòng)速度: | ||||
三軸定位: | ||||
電源 |
AC110V/220V | |||
消耗功率 |
<100W(不包括電腦) |