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產(chǎn)品類別: 遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器

產(chǎn)品名稱: 粒子傳感器/粒子在線監(jiān)控

產(chǎn)品品牌: 美國(guó)Met One

產(chǎn)品型號(hào): Met One 6000系列

的，高遠(yuǎn)程粒子計(jì)數(shù)器

性能特征

? 該系列的靈敏度了0.2微米，這是發(fā)達(dá)目前能提供的性能的測(cè)量范圍

? 在0.2到10微米這個(gè)特定的靈敏度范圍 ， 采樣流量為2.83LPM或28.3LPM，能滿足需要的潔凈室操作，如半導(dǎo)體，硬盤(pán)和平板顯示器產(chǎn)業(yè)

? 該系列可以很容易的結(jié)合到任何監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

? 確定更小粒子，了質(zhì)量和產(chǎn)量

? 長(zhǎng)壽命激光頭二管降低了采購(gòu)者更換配件和整體購(gòu)買(mǎi)的成本

性能參數(shù)

粒徑通道: 標(biāo)準(zhǔn)2通道或訂購(gòu)4通道（脈沖只有2通道的類型）

光源: 長(zhǎng)壽命激光光源

重量: 0.68kg （1.5lbs）

尺寸: 13.56 寬 x 8.13長(zhǎng) x 10.87 高厘米 (5.34 x3.20 x 4.28 英寸)

外殼: 304不銹鋼密封外殼，密封連接器，適合沖洗

信號(hào)指示燈: 多色發(fā)光二管可指示正常狀態(tài)、計(jì)數(shù)報(bào)警、計(jì)數(shù)警報(bào)、傳感器故障、

流量錯(cuò)誤和通訊故障

電源要求: 9-28 VDC

功率消耗: 以太網(wǎng)輸出    4.3 W（）    串行輸出    3.3W（）

操作環(huán)境溫度: 10°~32°C（50°~90°F）；相對(duì)濕度5~90%，無(wú)冷凝

儲(chǔ)存環(huán)境溫度: -40°~70°C（-40°~158°F）；相對(duì)濕度5~98%，無(wú)冷凝

信號(hào)輸出選項(xiàng): 以太網(wǎng)TCP / IP協(xié)議、脈沖串行RS - 485接口的Modbus RTU或與FXB通信協(xié)議、串行RS - 485接口

真空要求: 至少40.6厘米（16英寸）Hg

流量控制: 通過(guò)關(guān)鍵孔板

重疊損失: 6002/6003型  5% at 2,000,000 particles/ft3 (70,600,000particles/m3)

          6015型（脈沖除外）5% at 400, 000 particle/ft3(14,000,000particles/m3)

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