測量范圍(mm)
X
Y
Z 200
技術(shù)指標Technical Features
影像攝取系統(tǒng) SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera
分辨率 0.1um
重復 X/Y/Z=2.5um
測量 U1 x / y = (4.0+L/250)um
U1 z = (4.0+L/250)um
U2 x / y = (6.0+L/250)um
光源照明系統(tǒng) 同軸光(黃色LED) 輪廓光(黃色LED) 環(huán)光(黃色7向14位)
雷射激光系統(tǒng) Keyence LKG30 光點理論直徑:30um 工作范圍:+-4.5um 參照距離:30mm 光波長度:650nm
CCD兩種對焦模式 快速對焦(約1.5秒)& 高對焦
雷射對焦 單點對焦/掃描對焦
縮放倍率 1X物鏡 25X 50X 100X (分辨率:1280X1024 17")
2X物鏡 50X 100X 200X (分辨率:1280X1024 17")
焦距/工作范圍 1X物鏡 92mm/80~93mm
2X物鏡 36mm/34~37mm
機器特征Machine Features
機器型式 花崗巖床臺固定橋式
機器重量(凈重/毛重) 3800kg/4000kg 4150kg/4400kg 4500kg/4800kg 4850kg/5200kg
載荷 40kg
運行速度 X、Y=350mm/s Z=200mm/s
加速度 1000mm/s2
系統(tǒng)特征System Features
控制系統(tǒng) 全自動CNC控制系統(tǒng)
驅(qū)動系統(tǒng) 四軸程控:三軸交流伺服馬達全閉回路控制,高精密級線性滑軌與預壓滾珠螺桿驅(qū)動,步進馬達Zoom同軸控制鏡頭組
軟件配置 標準 Smart Inspector Pro3.0
選配 制程統(tǒng)計管制SPC模塊(網(wǎng)絡版);QV、VMS程序轉(zhuǎn)換系統(tǒng)PowerMetrix離線版;3D型狀誤差動態(tài)分析軟件;CAD整合型報表;精密測量操作系統(tǒng)等
操作系統(tǒng) Windows 7
外部工作環(huán)境Operating Environment
電源 220V 50~60HZ >10A
功率 2.0KW
溫度范圍 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m
濕度范圍 40%~70%
電腦配置 可選(實際出貨以報價單為準)
影像測量儀 https://www.vms4030.com