產(chǎn)品簡介： FS5000系列專為普通氣體的監(jiān)控而設計。由于我公司的信號跟蹤檢定能力設計，該傳感器可直接測量流體質(zhì)量?？蓚蓽y流速為20 nL／min的流體。傳感器可應用于多氣流管道的測量、泄漏偵測，HVAC控制，凈化空氣或氮氣監(jiān)控，環(huán)境設備如空氣采樣機、分析儀器如GC分光儀。FS5001可設定為可測滿量程為1-1000 sc c m（1 SLPM），并可根據(jù)客戶需求進行定制。該產(chǎn)品可即插即用，具有多種用途。
產(chǎn)品特點：
　?。瓕榱髁扛櫆y量而設計，測流量可達20nL／min
　　－卡口式設計可應用于多氣道
　?。焖夙憫獣r間有利于精密測量的應用
　?。诜治鲈O備表現(xiàn)卓越，如：GC分光儀
　　－多樣化的可調(diào)節(jié)方式可輕松應用于不同環(huán)境
　?。瓋?nèi)置安全插件可適用于更多的應用中
FS5001微小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。

產(chǎn)品特點：

• 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
• 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高計量
• 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
• 貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
• 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I²C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
• 零點穩(wěn)定度高
• 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復性
• 低功耗、低壓損
• 響應速度快

機械尺寸：

 

技術(shù)參數(shù)：

FS5001
量程范圍	0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制	sccm
量程比	>100：1
	±(1.5±0.2FS)	%
重復性	±0.75	%
零點輸出飄逸	±30	mV
輸出飄逸	0.16	%/oc
響應時間	100(默認，50，100，200，500，100設置)	ms
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損	900	Pa
流量壓力	0.8	MPa
工作溫度	-5~+45	oC
存儲溫度	-20~+55	oC
工作濕度	<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機械接口	M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊)
校準方式	空氣(或其他氣體)，20oC,101.325kPa
重量	17.5	g