產(chǎn)品詳細(xì)描述
測(cè)定範(fàn)圍: X軸:100mm Z軸: 50mm
驅(qū)動(dòng)部真直度: 0.8μm/100mm
驅(qū)動(dòng)部上下移動(dòng)量: 300mm
驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜角度: ±45°
測(cè)針追蹤角度: 向上: 77° 往下: 87°
驅(qū)動(dòng)速度:
測(cè)定速度: 0.2~0.5mm/s
回程速度: 0.1~0.5mm/s,手動(dòng)可
測(cè)針上下作動(dòng):
圓弧運(yùn)動(dòng)(R=375mm)
測(cè)定力: 1~3gf(30mN)
光學(xué)尺,分解能X軸0.05μm,Z軸0.2μm,Z2軸1μm
指示:
X軸:±(1+0.01L/100)μm
Z軸:±(2+|4H|/100)μm,Z=測(cè)定高度(±25mm)
測(cè)定倍率
X軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍
Z軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍
數(shù)值輸出: RS-232C
重量: 本體部: 約116kg
電源: Via AC adapter (100~240V AC,50/60 Hz)