品牌 | 新宇宙 | 型號 | 型號:XP-703D |
類型 | 便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀 | 測量范圍 | |
測量對象 | 環(huán)境管理的檢測 | 測量 | 10秒以內(nèi) |
分辨率 | 尺寸 | (mm) | |
重量 | (kg) | 電源 | 5號堿性電池4只(5小時(shí))/專用AC電源 |
型號:XP-703D
便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀
特點(diǎn):
? 適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
? 采用聲光報(bào)警。
規(guī) 格
型 號 XP-703D
檢測對象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理 熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)