| 品牌 | maxtek | 型號(hào) | mdc360c |
MDC-360C型膜厚控制儀
主要特性
? 可同時(shí)六個(gè)探頭進(jìn)行監(jiān)測(cè)，探頭/晶片的自動(dòng)轉(zhuǎn)換
? 編程菜單更具有易用性
? 16路輸入和輸出使得系統(tǒng)更易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化
? 可以儲(chǔ)存多達(dá)99種工藝過程，999種定義膜層和32種完整定義的材料
? 可支持6路源輸出
? 多重速率爬升
? 中止過程的自動(dòng)恢復(fù)功能
? 內(nèi)置材料數(shù)據(jù)庫
? 可命名的工藝過程、材料和輸出，易于識(shí)別
技術(shù)指標(biāo)
? 頻率分辨率 在6.0 MHz時(shí)0.03 Hz
? 質(zhì)量分辨率 0.375 ng/cm2
? 感應(yīng)晶片頻率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
? 膜厚顯示 0.000～999.9 K?
? 成膜速率 00.0～999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
? 膜層數(shù)量 1～999
? 圖形顯示 256×64 LCD，CCFL背景照明
