類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | 智泰 |
型號 | SIS-2000 | 品種 | 其他干涉儀 |
測量分辨率 | 0.1nm | 用途 | TFT、半導(dǎo)體芯片、材料、微電機(jī)系統(tǒng) |
儀器特點:
1 、非接觸式測量:避免物件受損。
2 、三維表面測量:表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。
3 、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4 、納米級分辨率:垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號處理器:實現(xiàn)測量需要幾秒鐘。
6 、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、震、壓。