INFICON UL1000型高靈敏度氦檢漏儀:
INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件檢漏的要求，靈測試，高靈敏度，快速于的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的性。合做微電子工業(yè)市場的要求。
一、產(chǎn)品應用：
1、半導體工藝設備的維護，該設備本身帶或未帶有真空泵
2、元器件在組裝前的漏率測試
3、工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
4、要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
二、特：
1、堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL（智能化漏率計算系統(tǒng)）,的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。
2、可調(diào)用氦氣或工藝氣體污染的保護。
3、用于消除在10-11至10-12靈敏漏率范圍中長時間平衡的程序。
4、系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的自診斷程序。
5、UL1000的通風系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。
6、渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
三、技術(shù)參數(shù)：
| 小可檢漏率（按S2.1和EN1518S標準） | 〈 5*10-13帕·米3/秒 〈 5*10-12毫巴·升/秒 |
| 小可檢漏率（吸入器模式） | 〈 1*10-8帕·米3/秒 〈 1*10-7毫巴·升/秒 |
| 入口壓強 GROSS、FINE、ULTRA | 1500帕、100帕、10帕 |
| 抽速在抽空過程中 入口處的氦抽速（EN1518） | 16米3/小時 2.2-4升/秒 |
| 檢漏盒尺寸 | ￠ 100*50MM |
| 完成檢漏周期的時間(使用標準尺寸的空檢漏盒) | 〈 6秒（漏率為10-10帕·米3/秒 |
| 可檢質(zhì)量數(shù) | 2，3，4amu 氫，3氦，氦 |
| 電源電壓 | 110-120伏；220-240伏 |
| 重量 | 110KG；242磅 |
| 尺寸，包括手把（長*寬*高） | 1068*525*850MM |
